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fzuhuangtao

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射

诸位英雄豪杰：
     大家好！
     本人在运用磁控溅射镀制TiN薄膜时，薄膜是黑色的，另外基片架上出现了类似彩虹的颜色，有劳大家帮我解释一下

基片架颜色



基片架颜色
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1楼 2012-02-16 17:05:27
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

fzuhuangtao(金币+5, 博学EPI+1): ★★★★★最佳答案 2012-02-17 10:11:43
彩虹色条纹是薄膜厚度不同而产生的干涉现象（类似于肥皂泡出现的彩色条纹现象）
TiN为什么发黑就不清楚了，也许是N少Ti多的原因吧。
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2012-02-16 20:49:03
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zhuhouge

木虫 (小有名气)

诸侯哥

【答案】应助回帖

fzuhuangtao(金币+2): ★★★★★最佳答案 2012-02-17 10:12:04
TiN发黑可能与所加的偏压有关！ 彩虹色圈与离子溅射时离子的轰击有关。
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不为别的，只为明天！！！
3楼2012-02-16 23:50:36
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fzuhuangtao

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by qfw_68 at 2012-02-16 20:49:03:
彩虹色条纹是薄膜厚度不同而产生的干涉现象（类似于肥皂泡出现的彩色条纹现象）
TiN为什么发黑就不清楚了，也许是N少Ti多的原因吧。

谢谢您，我看文献氮化钛薄膜没有出现黑色的，我调整了氮气的流量，结果还是黑色的，感到非常的疑惑。
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4楼2012-02-17 10:09:13
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aheyingwhg

新虫 (正式写手)
请问你解决了吗？我的也是
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5楼2012-03-02 14:14:51
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fzuhuangtao

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by aheyingwhg at 2012-03-02 14:14:51:
请问你解决了吗？我的也是

TiN薄膜的颜色受很多因素影响
我现在也一直在探索
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6楼2012-03-17 20:05:39
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