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关于EDS测试粉末颗粒元素比例的准确度
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fmc328016824
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[交流]
关于EDS测试粉末颗粒元素比例的准确度
我在用日立S3400N的SEM(有EDS)测铁铬硅合金粉末的元素比例时一个问题:在小倍率(500倍)时铬5%,硅5%,在大倍率(2000)时铬变成4%,硅8%。当然小倍率时测试范围有很多颗粒,大倍率测试时只有一个颗粒,但我想也不会差这么多吧,而且大倍率总是比小倍率测出来的硅多,为什么?看那个元素比例比较准确?
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2012-02-09 15:33:57
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★
fmc328016824(金币
+1
):谢谢参与
倍率大小和含量大小,个人觉得就是区域大小和含量大小的区别。用spot mode 与reduced area collection 采集出的数据也会不一样。建议多次测量选平均值。
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4楼
2012-02-10 08:54:55
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