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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 有谁了解或做过非晶微晶转变点附近的非晶硅材料
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monserdxw

金虫 (小有名气)

[求助] 有谁了解或做过非晶微晶转变点附近的非晶硅材料

做出来的效果咋样，光敏性什么的有多少啊，条件怎么样呢？谢谢了！
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1楼2012-01-09 16:50:04
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floljf

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
monserdxw(金币+1): ★★★很有帮助 那你手头有没有相关文献 或是怎么能较方便的找到这类文献 比如搜什么关键词之类的 没看到过有关这个的啊 谢谢啊 2012-01-12 11:43:44
你所说的做到什么程度，具体指什么指标？譬如说晶化率，沉积速率，光敏性或者其他。
文献里面所看到的，晶化率可以控制在40-60%，但是产业化应用的时候，沉积速率0.5nm/s左右（VHF plasma），晶化率在40%左右。
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4楼2012-01-12 09:30:12
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floljf

金虫 (正式写手)
你是现在要做吗？

没有做过，从paper上看到的是主要改变H2/SiH4浓度，在非晶微晶相变点以下，光衰减发生很大的改善
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2楼2012-01-11 08:46:34
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monserdxw

金虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by floljf at 2012-01-11 08:46:34:
你是现在要做吗？

没有做过，从paper上看到的是主要改变H2/SiH4浓度，在非晶微晶相变点以下，光衰减发生很大的改善

做了一点儿  就是不知道现在文献上能做到什么程度啊
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3楼2012-01-11 11:19:53
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