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金虫 (小有名气)

[求助] 有谁了解或做过非晶微晶转变点附近的非晶硅材料

做出来的效果咋样，光敏性什么的有多少啊，条件怎么样呢？谢谢了！

1楼 2012-01-09 16:50:04

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金虫 (正式写手)

你是现在要做吗？

没有做过，从paper上看到的是主要改变H2/SiH4浓度，在非晶微晶相变点以下，光衰减发生很大的改善

2楼2012-01-11 08:46:34

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金虫 (小有名气)

引用回帖:

楼: Originally posted by floljf at 2012-01-11 08:46:34:
你是现在要做吗？

没有做过，从paper上看到的是主要改变H2/SiH4浓度，在非晶微晶相变点以下，光衰减发生很大的改善

做了一点儿就是不知道现在文献上能做到什么程度啊

3楼2012-01-11 11:19:53

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金虫 (正式写手)

感谢参与，应助指数 +1
monserdxw(金币+1): ★★★很有帮助那你手头有没有相关文献或是怎么能较方便的找到这类文献比如搜什么关键词之类的没看到过有关这个的啊谢谢啊 2012-01-12 11:43:44

你所说的做到什么程度，具体指什么指标？譬如说晶化率，沉积速率，光敏性或者其他。
文献里面所看到的，晶化率可以控制在40-60%，但是产业化应用的时候，沉积速率0.5nm/s左右（VHF plasma），晶化率在40%左右。

4楼2012-01-12 09:30:12

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