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银翼萤虫

铁虫 (初入文坛)

[求助] CoFeB的直流溅射速率，急求！！！

磁控溅射Co40Fe40B20，使用直流溅射，想知道功率和溅射速率对应关系啊！~急求！！！~~~
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1楼 2012-01-05 21:38:04
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扭扭糖

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
nofrunolif(金币+1): 欢迎交流 2012-01-06 16:28:47
你是在哪里做的磁控溅射啊？你这个是合金靶，功率和速率的关系不好说吧，你可以先做一个样，然后去做下投射，知道厚度了，就可以自己算出来了。
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2楼2012-01-06 10:36:06
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