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银翼萤虫

铁虫 (初入文坛)

[求助] CoFeB的直流溅射速率,急求!!!

磁控溅射Co40Fe40B20,使用直流溅射,想知道功率和溅射速率对应关系啊!~急求!!!~~~
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扭扭糖

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


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nofrunolif(金币+1): 欢迎交流 2012-01-06 16:28:47
你是在哪里做的磁控溅射啊?你这个是合金靶,功率和速率的关系不好说吧,你可以先做一个样,然后去做下投射,知道厚度了,就可以自己算出来了。
2楼2012-01-06 10:36:06
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