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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 薄膜表面类似皲裂的现象，是什么原因引起的？
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zhdeng2008

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜表面类似皲裂的现象，是什么原因引起的？

这两种薄膜都是在900度下退火，出现了类似皲裂的现象，有大侠知道是什么原因吗？请指点！
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1楼 2011-12-28 09:09:41
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
薄膜材料是什么，衬底是什么，900°温度比较高了，很容易发生扩散
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3楼2011-12-28 17:35:38
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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这是什么薄膜呀，像氧化一样，也很奇怪怎么一簇一簇的，基体表面抛光了么，热应力应该是裂纹啊
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做学术是一件严谨的事
2楼2011-12-28 15:30:20
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avad

铁杆木虫 (著名写手)
这种情况应该经常有？
膜本身致密吗，有没有退火前的照片？
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不如归去
4楼2011-12-28 18:53:20
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kingluck

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
应该是应力造成的，考虑退火降温速度，还有就是基底与薄膜的热匹配问题。
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5楼2011-12-28 20:14:37
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