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薄膜表面类似皲裂的现象,是什么原因引起的?
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zhdeng2008
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专业: 半导体材料
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薄膜表面类似皲裂的现象,是什么原因引起的?
这两种薄膜都是在900度下退火,出现了类似皲裂的现象,有大侠知道是什么原因吗?请指点!
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1楼
2011-12-28 09:09:41
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专业: 零件加工制造
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这是什么薄膜呀,像氧化一样,也很奇怪怎么一簇一簇的,基体表面抛光了么,热应力应该是裂纹啊
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做学术是一件严谨的事
2楼
2011-12-28 15:30:20
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ddx-k
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薄膜材料是什么,衬底是什么,900°温度比较高了,很容易发生扩散
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3楼
2011-12-28 17:35:38
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avad
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专业: 金属材料表面科学与工程
这种情况应该经常有?
膜本身致密吗,有没有退火前的照片?
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4楼
2011-12-28 18:53:20
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kingluck
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应该是应力造成的,考虑退火降温速度,还有就是基底与薄膜的热匹配问题。
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5楼
2011-12-28 20:14:37
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