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zhdeng2008

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜表面类似皲裂的现象,是什么原因引起的?

这两种薄膜都是在900度下退火,出现了类似皲裂的现象,有大侠知道是什么原因吗?请指点!



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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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这是什么薄膜呀,像氧化一样,也很奇怪怎么一簇一簇的,基体表面抛光了么,热应力应该是裂纹啊
做学术是一件严谨的事
2楼2011-12-28 15:30:20
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
薄膜材料是什么,衬底是什么,900°温度比较高了,很容易发生扩散
3楼2011-12-28 17:35:38
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avad

铁杆木虫 (著名写手)

这种情况应该经常有?
膜本身致密吗,有没有退火前的照片?
不如归去
4楼2011-12-28 18:53:20
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kingluck

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
应该是应力造成的,考虑退火降温速度,还有就是基底与薄膜的热匹配问题。
5楼2011-12-28 20:14:37
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