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fred333

铜虫 (小有名气)

[求助] 求助:硅基GaAs砷化镓生长的技术手段

硅基GaAs外延生长有哪些技术手段? 比如像buff layer、图形片外延等等 能不能具体讲下 各自特点之类的。
拓展  硅基GaAs外延生长与硅基GaN外延生长在实现的高质量的技术手段上,有什么异同点?
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zhangjwxjtu

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般来说硅上外延生长GaAs是有问题的,容易形成反型层。
2楼2011-12-28 08:46:55
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bruce3600

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

Si基GaAs的生长很多设备都可以做,MBE啊,MOCVD啊,都可以。但没有能做好的。做不好的原因很复杂,部分器件的性能可以很高,但寿命很低,不稳定。
3楼2012-09-19 22:06:30
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