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求助：硅基GaAs砷化镓生长的技术手段
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硅基GaAs外延生长有哪些技术手段？ 比如像buff layer、图形片外延等等 能不能具体讲下 各自特点之类的。 拓展 硅基GaAs外延生长与硅基GaN外延生长在实现的高质量的技术手段上，有什么异同点？ |
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