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zjg-hsd银虫 (正式写手)
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请问非晶硅在600摄氏度退火后变成多晶硅---非晶层体积怎么变化？
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我想请问一下： 非晶硅层在600摄氏度退火1h 后，变成了 多晶硅。我想问一下非晶硅层变成多晶硅后体积怎么变化的? 是变大，变小。还是不变？ 谢谢指教！ |
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qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
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【答案】应助回帖
zjg-hsd(金币+2, 博学EPI+1): ★有帮助 2012-02-28 17:02:53
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非晶硅层变成多晶硅后体积应该略微变小。 看非晶硅与单晶硅的密度就知道了： 非晶硅的密度约低于单晶硅（2.33g/cm-3）的3%～10%。 https://blog.163.com/xmx028@126/ ... 460712010528334853/ |
2楼2011-12-20 05:20:37