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zjg-hsd

银虫 (正式写手)

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[求助] 请问非晶硅在600摄氏度退火后变成多晶硅---非晶层体积怎么变化？

我想请问一下：
非晶硅层在600摄氏度退火1h 后，变成了多晶硅。我想问一下非晶硅层变成多晶硅后体积怎么变化的? 是变大，变小。还是不变？

谢谢指教！

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1楼 2011-12-20 00:21:54

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qfw_68

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有尾巴的青蛙

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【答案】应助回帖

zjg-hsd(金币+2, 博学EPI+1): ★有帮助 2012-02-28 17:02:53

非晶硅层变成多晶硅后体积应该略微变小。
看非晶硅与单晶硅的密度就知道了：
非晶硅的密度约低于单晶硅（2.33g/cm-3）的3%～10%。
https://blog.163.com/xmx028@126/ ... 460712010528334853/

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没有困难创造困难也要上网。

2楼2011-12-20 05:20:37

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