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zjg-hsd

银虫 (正式写手)

[求助] 请问非晶硅在600摄氏度退火后变成多晶硅---非晶层体积怎么变化?

我想请问一下:
非晶硅层在600摄氏度退火1h 后,变成了 多晶硅。我想问一下非晶硅层变成多晶硅后体积怎么变化的? 是变大,变小。还是不变?

谢谢指教!

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