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救助：材料的溅射问题，问过多个牛人都不知道
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请教一个问题，在材料溅射的过程中，当入射离子的能量改变时，被溅射出来的原子速率也会发生变化，  请问，被溅射出来的原子速率范围是多少？ |
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