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hj188

银虫 (初入文坛)

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[交流] 救助：材料的溅射问题，问过多个牛人都不知道

请教一个问题，在材料溅射的过程中，当入射离子的能量改变时，被溅射出来的原子速率也会发生变化，

请问，被溅射出来的原子速率范围是多少？

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1楼 2007-01-19 21:13:29

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jackiemwd

荣誉版主 (知名作家)

小木虫论坛副秘书长

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这个根入射角，入射原子的能量是否低于某一个阈值，以及被溅射原子的种类都有关。你问的问题不具体，牛人当然不能回答了。

我来到小木虫论坛，就像饥饿的人扑到面包上一样。

2楼2007-01-31 10:37:26

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su-27skk

银虫 (小有名气)

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跟帖
材料溅射的方法有多种：ＲＦ溅射，磁控溅射，反应溅射，高速自溅射．．．．．．．．
所以楼上说的对

3楼2007-02-03 22:24:28

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nano2002

新虫 (初入文坛)

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专业: 高分子合成化学

可参见薄膜技术这本书

4楼2007-09-11 00:50:14

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阿梨子

木虫 (正式写手)

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具体的入射原子种类，溅射原子的种类，入射的能量，角度，等等这是一个很大的研究内容，牛人当然不知道了啊，即使是做这方面的专家也不一定能具体的知道啊

5楼2007-09-11 09:35:23

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