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hj188

银虫 (初入文坛)

[交流] 救助:材料的溅射问题,问过多个牛人都不知道

请教一个问题,在材料溅射的过程中,当入射离子的能量改变时,被溅射出来的原子速率也会发生变化,请问,被溅射出来的原子速率范围是多少?
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nano2002

新虫 (初入文坛)

可参见    薄膜技术    这本书
4楼2007-09-11 00:50:14
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jackiemwd

荣誉版主 (知名作家)

小木虫论坛副秘书长

这个根入射角,入射原子的能量是否低于某一个阈值,以及被溅射原子的种类都有关。你问的问题不具体,牛人当然不能回答了。
我来到小木虫论坛,就像饥饿的人扑到面包上一样。
2楼2007-01-31 10:37:26
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su-27skk

银虫 (小有名气)

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材料溅射的方法有多种:RF溅射,磁控溅射,反应溅射,高速自溅射........
所以楼上说的对
3楼2007-02-03 22:24:28
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阿梨子

木虫 (正式写手)

具体的入射原子种类,溅射原子的种类,入射的能量,角度,等等这是一个很大的研究内容,牛人当然不知道了啊,即使是做这方面的专家也不一定能具体的知道啊
5楼2007-09-11 09:35:23
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