| 查看: 1949 | 回复: 5 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
jack4a507木虫 (小有名气)
|
[求助]
请问谁用过沈阳司乐公司的匀胶机（旋涂仪） 已有1人参与
|
||
| 请问各位虫子有谁用过沈阳司乐公司的匀胶机，效果如何？ |
回复此楼» 猜你喜欢
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有221人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请问一个简单化合物的合成
已经有3人回复
- 求水溶性的极性大的橡胶
已经有10人回复
- 6%变性聚丙烯酰胺凝胶总是凝的不好 求指点 急啊 谢谢了
已经有43人回复
- 硅酸甲酯在pH4.5的醋酸—醋酸钠缓冲液中能形成凝胶吗
已经有5人回复
- 最近做实验需要买烘胶机，求推荐~
已经有7人回复
- 凝胶色谱仪Breeze 2系统现场培训
已经有43人回复
- 过柱子极性太大用甲醇都淋不下来怎么办？？？
已经有17人回复
- 请问法国国家科学院的researcher是相当于教授吗？
已经有19人回复
- 请问这种“粘手”玩具的具体材料是什么？如何制备成大块的软胶垫？
已经有10人回复
- TiO2凝胶陈化过程中变成淡蓝色加乳白的颜色是否正常？？
已经有5人回复
- [size=4][color=Red]请教各位虫子有没有用过带机械装夹托盘的匀胶机[/color][/size]
已经有4人回复
- 【求助】有谁用TEOS匀胶做SiO2膜吗？
已经有12人回复
gongyong1214 
新虫 (初入文坛)
|
本帖内容被屏蔽 |
5楼2014-04-01 15:23:14
suding
铁杆木虫 (知名作家)
- MN-EPI: 1
- 应助: 400 (硕士)
- 金币: 12966.2
- 散金: 537
- 红花: 24
- 帖子: 6010
- 在线: 2447.1小时
- 虫号: 627540
- 注册: 2008-10-16
- 性别: GG
- 专业: 数学
3楼2011-12-26 10:19:20
suding
铁杆木虫 (知名作家)
- MN-EPI: 1
- 应助: 400 (硕士)
- 金币: 12966.2
- 散金: 537
- 红花: 24
- 帖子: 6010
- 在线: 2447.1小时
- 虫号: 627540
- 注册: 2008-10-16
- 性别: GG
- 专业: 数学
4楼2011-12-27 15:47:27
victoryn
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 142
- 帖子: 30
- 在线: 8.8小时
- 虫号: 4263941
- 注册: 2015-12-03
- 性别: GG
- 专业: 集成电路制造与封装
【答案】应助回帖
|
如果只是做实验，供学生学习光刻胶涂布工艺步骤和方法，几千块的简易匀胶台就够用了。如果还有一些要求，比如胶膜厚度和胶膜均匀性，包括片间均匀性和批次间均匀性，还是有点讲究的。小的匀胶台电机性能差，调速升降过程不平稳，震动较大，涂布过程需要手动完成等，所以设备稳定性差和工艺一致性差是绝对的。 通常光刻胶涂布都要在一个密闭的腔体里面进行，饱和气压能防止光刻胶过快的将溶剂挥发，可以保证较好的涂布效果。而排风的大小能够影响到胶旋转时的表面的气压，排风大则气压就大，胶就薄，反之已然。这就引出一个排风的问题，排风一般分为抽和吸，抽为Exhaust，吸为Wind velocity。 Exhaust对Resist平均厚度几乎没有影响，对Range影响很大，主要影响的晶边部分，Exhaust越大，光刻胶在圆片边越容易干，会堆起来，就会边缘过厚。所以当需要真正的生产时，尽可能选用有经验的光刻胶涂布机厂商。 ——————— 西安矽美微电子设备有限公司由几位微电子芯片设备业界从业经验丰富的人士发起创立，公司专注于微电子芯片设备的设计、制造和销售。自2011年成立以来，已先后为真明丽银雨、楼氏苏州、亚威朗光电、西安中为光电、苏州纳米所等知名企业设计制造生产设备。主要产品有清洗机、光刻胶涂布显影机和热台、HMDS预处理系统、金刚刀划片机、晶圆贴膜机、晶圆切割机等。 Website：http:www.semiway.com.cn |
6楼2015-12-03 16:02:45
