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jack4a507木虫 (小有名气)
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[求助]
请问谁用过沈阳司乐公司的匀胶机（旋涂仪） 已有1人参与
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| 请问各位虫子有谁用过沈阳司乐公司的匀胶机，效果如何？ |
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suding
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3楼2011-12-26 10:19:20
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gongyong1214 
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5楼2014-04-01 15:23:14
victoryn
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【答案】应助回帖
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如果只是做实验，供学生学习光刻胶涂布工艺步骤和方法，几千块的简易匀胶台就够用了。如果还有一些要求，比如胶膜厚度和胶膜均匀性，包括片间均匀性和批次间均匀性，还是有点讲究的。小的匀胶台电机性能差，调速升降过程不平稳，震动较大，涂布过程需要手动完成等，所以设备稳定性差和工艺一致性差是绝对的。 通常光刻胶涂布都要在一个密闭的腔体里面进行，饱和气压能防止光刻胶过快的将溶剂挥发，可以保证较好的涂布效果。而排风的大小能够影响到胶旋转时的表面的气压，排风大则气压就大，胶就薄，反之已然。这就引出一个排风的问题，排风一般分为抽和吸，抽为Exhaust，吸为Wind velocity。 Exhaust对Resist平均厚度几乎没有影响，对Range影响很大，主要影响的晶边部分，Exhaust越大，光刻胶在圆片边越容易干，会堆起来，就会边缘过厚。所以当需要真正的生产时，尽可能选用有经验的光刻胶涂布机厂商。 ——————— 西安矽美微电子设备有限公司由几位微电子芯片设备业界从业经验丰富的人士发起创立，公司专注于微电子芯片设备的设计、制造和销售。自2011年成立以来，已先后为真明丽银雨、楼氏苏州、亚威朗光电、西安中为光电、苏州纳米所等知名企业设计制造生产设备。主要产品有清洗机、光刻胶涂布显影机和热台、HMDS预处理系统、金刚刀划片机、晶圆贴膜机、晶圆切割机等。 Website：http:www.semiway.com.cn |
6楼2015-12-03 16:02:45
