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磁控溅射
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zhuzhuyaya
木虫
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[交流]
磁控溅射
我用磁控溅射设备做出的样品,表面看起来很脏,用氩离子刻蚀清洗过程中也没有看到明显的打火现象,求各位指点!
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2011-12-05 10:17:40
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zhuzhuyaya
木虫
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自己抢沙发了
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2楼
2011-12-25 10:17:42
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zhuzhuyaya
木虫
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虫号: 1351347
现在又有了新的问题,做出的样品边沿效应严重,样品边沿与中间部分颜色明显不一致,请问这是什么原因造成的。
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3楼
2011-12-25 10:20:50
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lancho
木虫
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虫号: 474003
真空不够吧,氧化了
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4楼
2011-12-29 09:40:18
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zhangxaut
铜虫
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虫号: 951006
★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖
磁控溅射都会有边缘效应,试样做大一点,颜色不一致与真空度和偏压有关吧
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5楼
2012-02-15 15:30:26
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ningbocat
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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
正常的,和溶液度不一样。
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6楼
2013-04-01 20:23:36
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rainhall
银虫
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虫号: 96591
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
要看你镀层的成分了,样品的表面清洗会有影响,镀膜过程中的控制也有很大的影响。例如如果沉积C组分的膜层,不过不成膜表面会有很多粉末状的物质残留。
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7楼
2013-04-15 10:28:37
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