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zhuzhuyaya

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[交流] 磁控溅射

我用磁控溅射设备做出的样品，表面看起来很脏，用氩离子刻蚀清洗过程中也没有看到明显的打火现象，求各位指点！

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1楼 2011-12-05 10:17:40

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zhuzhuyaya

木虫 (小有名气)

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自己抢沙发了

2楼2011-12-25 10:17:42

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zhuzhuyaya

木虫 (小有名气)

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现在又有了新的问题，做出的样品边沿效应严重，样品边沿与中间部分颜色明显不一致，请问这是什么原因造成的。

3楼2011-12-25 10:20:50

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lancho

木虫 (正式写手)

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真空不够吧，氧化了

4楼2011-12-29 09:40:18

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zhangxaut

铜虫 (初入文坛)

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磁控溅射都会有边缘效应，试样做大一点，颜色不一致与真空度和偏压有关吧

5楼2012-02-15 15:30:26

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ningbocat

金虫 (小有名气)

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正常的，和溶液度不一样。

6楼2013-04-01 20:23:36

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rainhall

银虫 (小有名气)

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要看你镀层的成分了，样品的表面清洗会有影响，镀膜过程中的控制也有很大的影响。例如如果沉积C组分的膜层，不过不成膜表面会有很多粉末状的物质残留。

7楼2013-04-15 10:28:37

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