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zhuzhuyaya

木虫 (小有名气)


[交流] 磁控溅射

我用磁控溅射设备做出的样品,表面看起来很脏,用氩离子刻蚀清洗过程中也没有看到明显的打火现象,求各位指点!
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rainhall

银虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
要看你镀层的成分了,样品的表面清洗会有影响,镀膜过程中的控制也有很大的影响。例如如果沉积C组分的膜层,不过不成膜表面会有很多粉末状的物质残留。
7楼2013-04-15 10:28:37
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zhuzhuyaya

木虫 (小有名气)


现在又有了新的问题,做出的样品边沿效应严重,样品边沿与中间部分颜色明显不一致,请问这是什么原因造成的。
3楼2011-12-25 10:20:50
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lancho

木虫 (正式写手)


真空不够吧,氧化了
4楼2011-12-29 09:40:18
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zhangxaut

铜虫 (初入文坛)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
磁控溅射都会有边缘效应,试样做大一点,颜色不一致与真空度和偏压有关吧
5楼2012-02-15 15:30:26
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