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lzf_12266金虫 (正式写手)
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[求助]
晶体生长理论的一个问题
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The step height and width decrease with increasing amount of excess silicon while the growth mode changes to step flow growth。 上文是某篇文献中摘抄得，晶体生长使用的是PVT方法。掺硅后，生长台阶的高度和宽度会减小，生长模式转为台阶流生长模式。 我想问，台阶高度减小会造成什么影响，什么叫“台阶流生长"(step flow growth) 不知我的问题描述清楚没有，请留言告之。 [ Last edited by lzf_12266 on 2011-12-3 at 22:43 ] |
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