24小时热门版块排行榜    

查看: 347  |  回复: 1
本帖产生 1 个 基金HEPI ,点击这里进行查看
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

kanghe

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

xjtu-sunhl(金币+4, 基金HEPI+1): 赞效率!十分感谢! 2011-11-03 09:02:59
Cu互连微纳槽/孔内扩散阻挡层的表面形貌研究

负责人:杨吉军 参与人:杨吉军, 刘波, 韩纪锋, 李晓龙, 付鹏涛, 杜鹃

金额:25万 申请时间:2011 学科代码:金属材料表面科学与工程(E0110) 项目批准号:51101108

申请单位:四川大学 研究类型:应用基础研究

摘要Cu互连槽/孔内扩散阻挡层的表面形貌是集成电路(IC)纳器件技术亟待研究:的关键问题之一。然而,区别于平面上与宏观沟槽内的沉积薄膜,扩散阻挡层具有微纳尺度非平面沉积特点,其表面形貌隶属新颖的研究体系。针对该领域研究尚未深入的现状,本项目拟对扩散阻挡层表面形貌的若干基础性问题展开研究,包括提炼认识表面形貌的各向异性与多尺度特征;引入多尺度系统理论构建完善的表面形貌量化表征方法;结合动力学标度理论揭示扩散阻挡层的表面形貌演化机理。研究旨在为Cu互连槽/孔扩散阻挡层表面形貌的表征评价及调控设计提供基础技术与理论依据,推动IC纳器件Cu互连技术的持续升级。本项目研究内容具有一定的科学创新性,预期研究结果具有较强的工业应用价值,若获突破可推广到其它微纳器/部件如微机电系统(MEMS)等中槽/孔薄膜的表面形貌研究领域。
2楼2011-11-02 19:16:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 xjtu-sunhl 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料专硕306英一数二 +7 z1z2z3879 2026-03-16 9/450 2026-03-17 17:31 by ccjequ
[考研] 326求调剂 +5 上岸的小葡 2026-03-15 6/300 2026-03-17 17:26 by ruiyingmiao
[考研] 302求调剂 +9 负心者当诛 2026-03-11 9/450 2026-03-17 17:13 by ruiyingmiao
[考研] 材料专硕326求调剂 +6 墨煜姒莘 2026-03-15 7/350 2026-03-17 17:10 by ruiyingmiao
[考研] 312求调剂 +4 陌宸希 2026-03-16 5/250 2026-03-17 17:09 by ruiyingmiao
[考研] 材料与化工求调剂 +5 为学666 2026-03-16 5/250 2026-03-17 16:40 by 无际的草原
[考研] 一志愿苏州大学材料工程(085601)专硕有科研经历三项国奖两个实用型专利一项省级立项 +6 大火山小火山 2026-03-16 8/400 2026-03-17 15:05 by 无懈可击111
[考研] 283求调剂 +3 听风就是雨; 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:41 by 热情沙漠
[考研] 274求调剂 +5 时间点 2026-03-13 5/250 2026-03-17 07:34 by 热情沙漠
[考研] [导师推荐]西南科技大学国防/材料导师推荐 +3 尖角小荷 2026-03-16 6/300 2026-03-16 23:21 by 尖角小荷
[考研] 085600调剂 +5 漾漾123sun 2026-03-12 6/300 2026-03-16 15:58 by 漾漾123sun
[考研] 中科大材料与化工319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:10 by ms629
[考研] 289求调剂 +4 这么名字咋样 2026-03-14 6/300 2026-03-14 18:58 by userper
[考研] 341求调剂 +3 番茄头--- 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:07 by JourneyLucky
[考研] 材料工程调剂 +4 咪咪空空 2026-03-11 4/200 2026-03-13 19:57 by JourneyLucky
[考研] 310求调剂 +3 【上上签】 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:16 by JourneyLucky
[考研] 307求调剂 +5 超级伊昂大王 2026-03-12 5/250 2026-03-13 15:56 by 棒棒球手
[论文投稿] 投稿问题 5+4 星光灿烂xt 2026-03-12 6/300 2026-03-13 14:17 by god_tian
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
[考研] 333求调剂 +3 152697 2026-03-12 4/200 2026-03-13 07:08 by Iveryant
信息提示
请填处理意见