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xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)

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专业: 金属材料表面科学与工程

[求助] 求助2011基金摘要或标书51101108

求助摘要的编号:

51101108/E0110

项目名称:

Cu互连微纳槽/孔内扩散阻挡层的表面形貌研究

项目类型:

青年基金

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1楼 2011-11-02 10:38:40

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kanghe

铁杆木虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

xjtu-sunhl(金币+4, 基金HEPI+1): 赞效率！十分感谢！ 2011-11-03 09:02:59

Cu互连微纳槽/孔内扩散阻挡层的表面形貌研究

负责人：杨吉军参与人：杨吉军, 刘波, 韩纪锋, 李晓龙, 付鹏涛, 杜鹃

金额：25万申请时间：2011 学科代码：金属材料表面科学与工程(E0110) 项目批准号：51101108

申请单位：四川大学研究类型：应用基础研究

摘要Cu互连槽/孔内扩散阻挡层的表面形貌是集成电路（IC）纳器件技术亟待研究：的关键问题之一。然而，区别于平面上与宏观沟槽内的沉积薄膜，扩散阻挡层具有微纳尺度非平面沉积特点，其表面形貌隶属新颖的研究体系。针对该领域研究尚未深入的现状，本项目拟对扩散阻挡层表面形貌的若干基础性问题展开研究，包括提炼认识表面形貌的各向异性与多尺度特征；引入多尺度系统理论构建完善的表面形貌量化表征方法；结合动力学标度理论揭示扩散阻挡层的表面形貌演化机理。研究旨在为Cu互连槽/孔扩散阻挡层表面形貌的表征评价及调控设计提供基础技术与理论依据，推动IC纳器件Cu互连技术的持续升级。本项目研究内容具有一定的科学创新性，预期研究结果具有较强的工业应用价值，若获突破可推广到其它微纳器/部件如微机电系统（MEMS）等中槽/孔薄膜的表面形貌研究领域。

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2楼2011-11-02 19:16:16

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