应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » PACVD和PECVD的区别？？
21/1返回列表
查看: 2607  |  回复: 1
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

永远爱家的YY

金虫 (小有名气)

[求助] PACVD和PECVD的区别？？

根据翻译过来PACVD是等离子辅助化学气相沉积，PECVD是等离子增强化学气相沉积。
    这两者是都属于等离子体化学气相沉积（PCVD）吗？我看有的文献中写的很模糊，还有的说PECVD就是PACVD ，我就弄不太明白了。
      这两者应该是有区别的吧？具体有什么区别呢？求高人指点。。。。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
没有人能随随便便成功
1楼 2011-10-20 15:31:59
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

anthonov

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

永远爱家的YY(金币+1): 谢谢！ 2011-10-23 08:56:18
基本是一个意思，我觉得PACVD应该包含了PECVD，PECVD也称作PCVD，马甲不一样。带P的CVD都是依靠等离子体中电子的动能去激活气相的化学反应，等离子体的首要作用是产生化学活性的离子和自由基，比如有SiH2，就会生成SiH3、SiH4+、SiH3+等等。没必要纠结在一两个词的说法上。
赞一下 回复此楼
2楼2011-10-22 23:24:43
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 永远爱家的YY 的主题更新
21/1返回列表
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭