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永远爱家的YY

金虫 (小有名气)

[求助] PACVD和PECVD的区别？？

根据翻译过来PACVD是等离子辅助化学气相沉积，PECVD是等离子增强化学气相沉积。
    这两者是都属于等离子体化学气相沉积（PCVD）吗？我看有的文献中写的很模糊，还有的说PECVD就是PACVD ，我就弄不太明白了。
      这两者应该是有区别的吧？具体有什么区别呢？求高人指点。。。。
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没有人能随随便便成功
1楼 2011-10-20 15:31:59
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anthonov

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

永远爱家的YY(金币+1): 谢谢！ 2011-10-23 08:56:18
基本是一个意思，我觉得PACVD应该包含了PECVD，PECVD也称作PCVD，马甲不一样。带P的CVD都是依靠等离子体中电子的动能去激活气相的化学反应，等离子体的首要作用是产生化学活性的离子和自由基，比如有SiH2，就会生成SiH3、SiH4+、SiH3+等等。没必要纠结在一两个词的说法上。
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2楼2011-10-22 23:24:43
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