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直流磁控溅射制备的ITO薄膜可见光反射率偏高,为什么?
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firefiend
新虫
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(幼儿园)
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在线: 1小时
虫号: 1058642
注册: 2010-07-16
专业: 等离子体物理
[
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]
直流磁控溅射制备的ITO薄膜可见光反射率偏高,为什么?
我用直流磁控溅射制备的ITO薄膜在可见光范围内反射率有些偏高,请问和什么因素有关?该怎样调试?谢谢!!
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希望能和FPD行业人士多交流学习
1楼
2011-10-19 22:58:01
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as272936901
新虫
(初入文坛)
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虫号: 1089043
注册: 2010-09-04
性别: GG
专业: 等离子体物理
【答案】应助回帖
嗯,我这里有 “直流磁控溅射制备的ITO薄膜 ”,的PDF文件,已经上传,希望能帮助到你。感谢!
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3楼
2011-11-05 17:54:20
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xjl19880712
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专业: 等离子体物理
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还是自己慢慢摸索吧
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《标准与专利版》虫子求助资助帖(长期有效、严禁灌水)http://emuch.net/bbs/viewthread.php?tid=3451699
2楼
2011-10-22 17:31:07
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