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hainess

银虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 542.1
帖子: 160
在线: 23小时
虫号: 1060766

[交流] 纳米压痕硬度测试相关

如题所示，我想了解下关于纳米压痕硬度测试相关的一些知识，比如说我的薄膜材料的改性层大约为200纳米，我要测得改性层的纳米硬度以及弹性模量。
我想知道
1. 测试时的载荷如何选择；
2. 还有最大压痕深度是不是必须控制在200纳米以内；
3. 如果选用的载荷过大，导致最大压痕深度大于200纳米，这样会对硬度和弹性模量造成什么影响；
4. 纳米硬度与弹性模量的计算公式。

希望测试过的朋友不吝赐教，给小弟扫下盲！
感谢！

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1楼 2011-10-17 22:43:52

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bingan727

木虫 (正式写手)

应助: 10 (幼儿园)
金币: 3298
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在线: 197.3小时
虫号: 1551391

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2012-01-08 07:29:38

引用回帖:

1楼: Originally posted by hainess at 2011-10-17 08:43:52:
如题所示，我想了解下关于纳米压痕硬度测试相关的一些知识，比如说我的薄膜材料的改性层大约为200纳米，我要测得改性层的纳米硬度以及弹性模量。
我想知道
1. 测试时的载荷如何选择；
2. 还有最大压痕深度是不 ...

1和2.我本人是做纳米压痕的，但我不是研究薄膜材料。所以所做的载荷更高，不过基于我看过的论文，有个基本的共识。就是为了尽量避免基体材料对测试结果的影响，压痕最大的深度需要小于薄膜厚度的1/10。这主要是因为压痕下方塑性变形区是压痕尺寸的10倍左右。这就意味着你的压痕深度要控制在在20nm以内，至于载荷，你可以具体做次实验，看20nm对应什么载荷，然后载荷在此对应的值一下。