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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 纳米压痕硬度测试相关
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hainess

银虫 (小有名气)

[交流] 纳米压痕硬度测试相关

如题所示，我想了解下关于纳米压痕硬度测试相关的一些知识，比如说我的薄膜材料的改性层大约为200纳米，我要测得改性层的纳米硬度以及弹性模量。
我想知道
1. 测试时的载荷如何选择；
2. 还有最大压痕深度是不是必须控制在200纳米以内；
3. 如果选用的载荷过大，导致最大压痕深度大于200纳米，这样会对硬度和弹性模量造成什么影响；
4. 纳米硬度与弹性模量的计算公式。

希望测试过的朋友不吝赐教，给小弟扫下盲！
感谢！
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1楼 2011-10-17 22:43:52
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bingan727

木虫 (正式写手)
★ ★
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nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2012-01-08 07:29:38
引用回帖:
1楼: Originally posted by hainess at 2011-10-17 08:43:52:
如题所示，我想了解下关于纳米压痕硬度测试相关的一些知识，比如说我的薄膜材料的改性层大约为200纳米，我要测得改性层的纳米硬度以及弹性模量。
我想知道
1. 测试时的载荷如何选择；
2. 还有最大压痕深度是不 ...

1和2.我本人是做纳米压痕的，但我不是研究薄膜材料。所以所做的载荷更高，不过基于我看过的论文，有个基本的共识。就是为了尽量避免基体材料对测试结果的影响，压痕最大的深度需要小于薄膜厚度的1/10。这主要是因为压痕下方塑性变形区是压痕尺寸的10倍左右。这就意味着你的压痕深度要控制在在20nm以内，至于载荷，你可以具体做次实验，看20nm对应什么载荷，然后载荷在此对应的值一下。
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7楼2012-01-08 03:48:17
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wxzlcx

木虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
hainess(金币+5): 静态方法，那压入深度多少才好呢？ 2011-10-18 22:15:00
lchpy(金币+1): thanks for your information 2011-10-21 14:00:01
取决于你采用的方法，如果是连续刚度测试方法的话，超过200纳米没有问题，如果是静态方法的话，在200纳米内也会有基底效应的。
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2楼2011-10-18 16:19:57
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BMGS-NANO

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
hainess(金币+2): 谢谢参与 2011-10-21 20:51:35
同问啊，有哪路大侠可以为吾等解惑？
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3楼2011-10-19 19:33:28
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hainess

银虫 (小有名气)
我问过老师了，测试时的压入深度要做实验决定
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4楼2011-10-21 12:52:42
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