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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 求助：文献中光刻胶线条的截面SEM图（cross-sectional SEM）那种截面是怎么得到的
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学海无涯t

铁虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by zeusshang at 2011-12-13 17:53:23:
实在想看的话用FIB，不过很贵。或者设计的时候专门做一组比较长的线用来观察

嗯，长知识了
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11楼2011-12-14 10:07:27
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kongjzh

木虫 (正式写手)
先用金刚刀滑好痕迹，在进行光刻
完成后，直接掰开
做SEM时，把样品台倾斜一点就OK了
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

学海无涯t
12楼2011-12-14 10:56:43
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学海无涯t

铁虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
12楼: Originally posted by kongjzh at 2011-12-14 10:56:43:
先用金刚刀滑好痕迹，在进行光刻
完成后，直接掰开
做SEM时，把样品台倾斜一点就OK了

嗯
13楼2011-12-15 10:20:03
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kongjzh

木虫 (正式写手)
在Si片背面滑
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14楼2011-12-15 13:14:20
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happyvan

铁虫 (初入文坛)
环氧树脂包埋，研磨，SEM可以不
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15楼2012-04-13 23:02:05
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anothershot

铁虫 (初入文坛)
不知道有什么难度？我自己做的这个类似截面，间距只有10UM间距的条，比你小很多。不就用镊子顶边裂开么
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To be a rock and not to roll
16楼2012-09-05 11:32:52
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shiron528

新虫 (初入文坛)
我可以问一下亮的地方是被刻蚀掉的地方吗？是凹陷下去的地方？
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17楼2017-07-06 23:33:34
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