求助：文献中光刻胶线条的截面SEM图（cross-sectional SEM）那种截面是怎么得到的 - 微米和纳米 - 学术讨论

11楼2011-12-14 10:07:27

kongjzh

木虫 (正式写手)

应助: 139 (高中生)
贵宾: 0.11
金币: 1935.7
红花: 4
帖子: 657
在线: 127.3小时
虫号: 618224
注册: 2008-10-06
性别: GG
专业: 无机合成和制备化学

先用金刚刀滑好痕迹，在进行光刻
完成后，直接掰开
做SEM时，把样品台倾斜一点就OK了

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

学海无涯t

12楼2011-12-14 10:56:43

学海无涯t

铁虫 (初入文坛)

送鲜花一朵

引用回帖:

12楼: Originally posted by kongjzh at 2011-12-14 10:56:43:
先用金刚刀滑好痕迹，在进行光刻
完成后，直接掰开
做SEM时，把样品台倾斜一点就OK了

嗯

13楼2011-12-15 10:20:03

kongjzh

木虫 (正式写手)

应助: 139 (高中生)
贵宾: 0.11
金币: 1935.7
红花: 4
帖子: 657
在线: 127.3小时
虫号: 618224
注册: 2008-10-06
性别: GG
专业: 无机合成和制备化学

在Si片背面滑

14楼2011-12-15 13:14:20

happyvan

铁虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 89
帖子: 31
在线: 20.6小时
虫号: 1752608
注册: 2012-04-12
专业: 新型信息器件

环氧树脂包埋，研磨，SEM可以不

15楼2012-04-13 23:02:05

anothershot

铁虫 (初入文坛)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 10.5
散金: 20
红花: 2
帖子: 42
在线: 68小时
虫号: 1936489
注册: 2012-08-13
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

不知道有什么难度？我自己做的这个类似截面，间距只有10UM间距的条，比你小很多。不就用镊子顶边裂开么

To be a rock and not to roll

16楼2012-09-05 11:32:52

shiron528

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 2.1
帖子: 11
在线: 8.7小时
虫号: 2984014
注册: 2014-02-21
专业: 质谱分析

我可以问一下亮的地方是被刻蚀掉的地方吗？是凹陷下去的地方？

17楼2017-07-06 23:33:34