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学海无涯t

铁虫 (初入文坛)

[求助] 求助：文献中光刻胶线条的截面SEM图（cross-sectional SEM）那种截面是怎么得到的

如下图，为光刻胶线条的截面SEM图，但是由于我做的光刻胶线条尺寸很小，很难用手工的方法在硅片上的光刻胶线条上准确地切开截面，即使切开，其边缘也是粗糙难看，很难达到下图的效果，请问大家是怎么做的？不甚感激




[ Last edited by 学海无涯t on 2011-10-14 at 10:06 ]
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1楼2011-10-14 10:04:21
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kongjzh

木虫 (正式写手)
先用金刚刀滑好痕迹，在进行光刻
完成后，直接掰开
做SEM时，把样品台倾斜一点就OK了
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

学海无涯t
12楼2011-12-14 10:56:43
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学海无涯t

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by sentaurus at 2011-10-14 21:50:48:
尺寸多小哦？

线条的长度大概100μm，我想要的效果是从线条中间截开，然后看其截面。请问有什么好方法吗
赞一下 回复此楼
3楼2011-10-14 22:02:43
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chemliang

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

学海无涯t(金币+2): 好的，我试试，谢啦 2011-10-14 22:06:31
实际上掰开试试，多找找区域，说不定有好的。
要是不行就离子枪。
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4楼2011-10-14 22:03:44
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sentaurus

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 学海无涯t at 2011-10-14 22:02:43:
线条的长度大概100μm，我想要的效果是从线条中间截开，然后看其截面。请问有什么好方法吗

怎么觉得你表述不清楚呢？

线条包括长和宽，你是要看宽的剖面，长的剖面？
赞一下 回复此楼
还没想好！
5楼2011-10-14 22:24:15
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