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qzwxq

木虫 (著名写手)

[求助] 请问用什么方法可以测掺杂在非晶态二氧化硅中的微量磷元素和氟元素

想测掺杂在非晶态二氧化硅中的微量磷元素和氟元素的含量,具体掺杂量不太清楚,用SEM+EDS测不出来。但肯定有这些掺杂。求助!谢谢!
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

【答案】应助回帖


wbcui(金币+1): 你了解的范围很广啊,多发贴交流 2011-09-29 19:25:56
引用回帖:
1楼: Originally posted by qzwxq at 2011-09-29 14:03:44:
想测掺杂在非晶态二氧化硅中的微量磷元素和氟元素的含量,具体掺杂量不太清楚,用SEM+EDS测不出来。但肯定有这些掺杂。求助!谢谢!

个人建议做辉光放电质谱(GDMS)或二次离子质谱(SIMS),icp-ms的话如果先消解样品的话,磷可能会挥发,本来就少。。可能更不好测准了。二次离子质谱的检测线应该较辉光放电质谱低些,上海埃文斯不错(EAG)。
是金子总会发光!!!
4楼2011-09-29 17:49:15
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