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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 重大装备 » 请问用什么方法可以测掺杂在非晶态二氧化硅中的微量磷元素和氟元素
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qzwxq

木虫 (著名写手)

[求助] 请问用什么方法可以测掺杂在非晶态二氧化硅中的微量磷元素和氟元素

想测掺杂在非晶态二氧化硅中的微量磷元素和氟元素的含量，具体掺杂量不太清楚，用SEM+EDS测不出来。但肯定有这些掺杂。求助！谢谢！
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qzwxq

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1楼2011-09-29 14:03:44
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

【答案】应助回帖

★
wbcui(金币+1): 你了解的范围很广啊，多发贴交流 2011-09-29 19:25:56
引用回帖:
1楼: Originally posted by qzwxq at 2011-09-29 14:03:44:
想测掺杂在非晶态二氧化硅中的微量磷元素和氟元素的含量，具体掺杂量不太清楚，用SEM+EDS测不出来。但肯定有这些掺杂。求助！谢谢！

个人建议做辉光放电质谱（GDMS）或二次离子质谱(SIMS)，icp-ms的话如果先消解样品的话，磷可能会挥发，本来就少。。可能更不好测准了。二次离子质谱的检测线应该较辉光放电质谱低些，上海埃文斯不错（EAG）。
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是金子总会发光！！！
4楼2011-09-29 17:49:15
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whd博士

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
qzwxq(金币+5): 非常感谢！ 2011-09-29 18:51:29
wbcui(金币+1): 看来你了解的听广泛的啊，呵呵，多发帖交流吧 2011-09-29 19:25:19
ICP试试，全称是电感耦合等离子光谱分析，固体样品就可以测，精度还可以吧，我老师曾经测过粉末样品中F元素的，不过这个测试的元素范围很宽，这两个都能测。楼主好运喽~~~~~~
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2楼2011-09-29 17:33:50
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whd博士

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
wbcui(金币+1): 多谢参与，以后多参与讨论交流 2011-09-29 19:25:28
http://wenku.baidu.com/view/87fa ... ight=22&count=5你可以参考一下这个~~~~~~
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3楼2011-09-29 17:39:41
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qzwxq

木虫 (著名写手)
送鲜花一朵
非常感谢，金币发了1楼后边不知道怎么发了，只能给您送红花了，谢谢，有问题还请您多指教！
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5楼2011-09-29 19:02:49
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