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laoyisng1122

铁虫 (正式写手)

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[求助] 扫描电镜真空度的情况下，分子泵与扩散泵的性能该做如何比较？

扫描电镜求达到相同真空度的分子泵与扩散泵的性能比较
看了论坛中几个帖子所说，分子泵与扩散泵的优缺点比较，学习了不少。不过又有问题挥之不去，比如：在同样达到5*10-6真空度的情况下，分子泵与扩散泵的性能该做如何比较？分子泵的抽速能赶上扩散泵的吗？功耗应该也是分子泵小吧，那么用电量如何呢？

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1楼 2011-09-20 16:00:44

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diwunju

铁杆木虫 (正式写手)

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专业: 无机非金属类电介质与电解

楼主在考虑什么问题啊？对SEM来说，泵得功耗不是什么主要的参考吧。毫无疑问选分子泵啊，稍微高端一点，或者说不低端的SEM就不会使用扩散泵，因为会反油，时间长了，电镜性能下降很快。只有日本人生产的SEM为了节约成本才会用扩散泵啊，JEOL、Shimadzu什么的几乎已经被市场边缘化。

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