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扫描电镜 真空度的情况下,分子泵与扩散泵的性能该做如何比较?
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laoyisng1122
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扫描电镜 真空度的情况下,分子泵与扩散泵的性能该做如何比较?
扫描电镜 求达到相同真空度的分子泵与扩散泵的性能比较
看了论坛中几个帖子所说,分子泵与扩散泵的优缺点比较,学习了不少。不过又有问题挥之不去,比如:在同样达到5*10-6真空度的情况下,分子泵与扩散泵的性能该做如何比较?分子泵的抽速能赶上扩散泵的吗?功耗应该也是分子泵小吧,那么用电量如何呢?
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1楼
2011-09-20 16:00:44
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性别: GG
专业: 无机非金属类电介质与电解
楼主在考虑什么问题啊?对SEM来说,泵得功耗不是什么主要的参考吧。毫无疑问选分子泵啊,稍微高端一点,或者说不低端的SEM就不会使用扩散泵,因为会反油,时间长了,电镜性能下降很快。只有日本人生产的SEM为了节约成本才会用扩散泵啊,JEOL、Shimadzu什么的几乎已经被市场边缘化。
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2楼
2011-09-20 19:46:57
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