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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 纳米压印模板抗粘连处理
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茅洲

金虫 (小有名气)

[求助] 纳米压印模板抗粘连处理

我采用紫外纳米压印，采用石英模板，在转移图形时，粘连的厉害，应该怎么处理，有没有一些简单的工艺，采用什么测试表征处理的好坏？
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享受风的速度...
1楼 2011-09-14 17:59:17
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exciting1973

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
8楼2012-09-16 17:54:54
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cuilin0512

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
lchpy(金币+1): thanks for your information 2011-11-17 13:28:21
自组装单体抗粘层
赞一下(1人) 回复此楼
开开心心每一天！
2楼2011-10-20 21:40:06
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tiencore

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
lchpy(金币+1): thanks for your information 2011-11-17 13:28:28
引用回帖:
1楼: Originally posted by 茅洲 at 2011-09-14 17:59:17:
我采用紫外纳米压印，采用石英模板，在转移图形时，粘连的厉害，应该怎么处理，有没有一些简单的工艺，采用什么测试表征处理的好坏？

SEM就可以表征，看转移图案是否整齐无缺陷。
赞一下(1人) 回复此楼
虫震江湖！
3楼2011-11-17 13:19:59
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xiangmengli

金虫 (正式写手)

微纳米小木虫

【答案】应助回帖

★
金光闪闪2010(金币+1): 2011-11-21 21:14:24
氧气等离子体处理半分钟，用接触角测量仪测量水在样品表面的接触角，应该会比原来的小。
赞一下(2人) 回复此楼
梅花香自苦寒来
4楼2011-11-21 19:24:27
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