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紫廷

金虫 (正式写手)

[求助] 求问:薄膜厚度的测试方法、仪器

树脂基复合薄膜,很软,有柔性。用SEM测试不容易测出厚度。估计厚度在2、3个um。 谢谢。

另,文献中有提到过一种轮廓仪,可以测厚度和粗糙度,但不知是怎样的一种设备,以及哪里有。。。谢谢。

[ Last edited by flyingsnow4 on 2011-9-7 at 16:55 ]
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yuquanyao

荣誉版主 (知名作家)

小背包

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【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
就是我们事业部的轮廓仪,我给你介绍一下。
有几张图片我没办法传上去。如果要的话,发邮件:yuquanyao@126.com
主要用途:
表面轮廓仪可测量粗糙度和台阶高度,扫描长度最长为2mm,纵向测量范围从100Å到大约0.4mm,纵向分辨率为 0.24 Å,横向分辨率仅受测针半径的限制,而不受数据点数的限制,但是,两个数据点之间的最小间距为 0.01 μm。可测量最大150mm宽和 15 mm厚的样品。

技术指标:
测针半径 5μm –锥角 60°
规定使用温度范围:21° ± 5° C
•最大使用温度范围:21° ±11° C
地面振动 (2–40 Hz) 应小于 0.2 mG,噪音应低于 80 dB。
每个人都是一个能量源,要勇于向周围传递正能量!
17楼2011-12-19 21:09:21
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