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JZZ_99

金虫 (小有名气)

[求助] 求助。。。 除了ALD外还有什么方法能在已有氧化物基底上负载一层很薄的物质

求助。。。
除了ALD外还有什么方法能在已有氧化物基底上沉积一层很薄的物质
谢谢!!!!
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zhilantian

木虫 (小有名气)

MBE
3楼2011-09-02 16:59:56
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zhilantian

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


金光闪闪2010(金币+1): 2011-09-06 22:51:07
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhilantian at 2011-09-02 16:59:56:
MBE

呵呵,分子束外延,
其实成膜的还有很多方法,像PLD(激光脉冲沉积)、CVD(化学气相沉积)应该都可以沉积较薄的膜吧!
7楼2011-09-05 10:50:34
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