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如何清洗硅片,不让其有水痕,产生花片?
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tln6698209
新虫
(初入文坛)
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注册: 2010-10-01
性别:
MM
专业: 高分子物理与高分子物理化
[
求助
]
如何清洗硅片,不让其有水痕,产生花片?
我是生产硅片的,想请教一下各位大哥大姐,如何清洗硅片,不让其有水痕,产生花片?
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fighting!
1楼
2011-08-10 23:35:54
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manmansboy
专家顾问
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黄金矿工
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专业: 应用有机化学
管辖:
材料区
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13500558820(金币+1): 感谢交流,请继续支持工程师版 2011-08-20 15:14:50
洗完要烘干或者甩干,要快,别墨迹
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浆料圈 silverpaste@qq.com
4楼
2011-08-15 16:16:41
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lhto878
木虫
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注册: 2010-09-27
性别: GG
专业: 半导体材料
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13500558820(金币+1): 感谢应助,应助奖励,请继续支持和关注工程师版 2011-08-20 15:14:10
tln6698209(金币+1): 谢谢啊。。。可是去离子水只能去除一些大颗粒,那小颗粒呢,比如一些金属带点颗粒什么的,或者有机物等?? 2011-08-30 22:17:33
那个对于清洗剂纯度,杂质颗粒尺寸要求很好,一般成本较低的话,去离子水或蒸馏水(纯净水)也能凑合
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2楼
2011-08-12 22:37:10
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jinjun@whut
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专业: 无机非金属类光电信息与功
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13500558820(金币+1): 感谢应助,应助奖励,请继续支持和关注工程师版 2011-08-20 15:14:25
tln6698209(金币+1): 双氧水也可以啊??。。。没试过!谢谢你。。 2011-08-30 22:18:53
用浓硫酸和双氧水,3:1超声清洗
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3楼
2011-08-12 22:54:51
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