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tln6698209

新虫 (初入文坛)

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[求助] 如何清洗硅片，不让其有水痕，产生花片？

我是生产硅片的，想请教一下各位大哥大姐，如何清洗硅片，不让其有水痕，产生花片？

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fighting！

1楼 2011-08-10 23:35:54

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lhto878

木虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

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13500558820(金币+1): 感谢应助，应助奖励，请继续支持和关注工程师版 2011-08-20 15:14:10
tln6698209(金币+1): 谢谢啊。。。可是去离子水只能去除一些大颗粒，那小颗粒呢，比如一些金属带点颗粒什么的，或者有机物等？？ 2011-08-30 22:17:33

那个对于清洗剂纯度，杂质颗粒尺寸要求很好，一般成本较低的话，去离子水或蒸馏水（纯净水）也能凑合