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gebilang木虫 (小有名气)
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求教配置SPM,SC1,SC2清洗液的具体配制步骤顺序 已有2人参与
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最近有一些硅片、玻璃片需要清洗，以前没洗过，在木虫上搜了些资料，想用标准的清洗液来清洗。不过具体操作上还想请教一下大家，这玩意儿都说比较危险。 1，SPM, H2SO4和H2O2，谁后加？网上有说H2SO4加到H2O2中的，也有说反过来的，感觉应该是H2SO4加到H2O2中吧？？ 2，SC1——NH4OH：H2O2：H2O，是先H2O,再H2O2，再NH4OH的顺序？ 3，SC2——HCL：H2O2：H2O，是先H2O,再H2O2，再HCL的顺序？ 感谢虫子们帮忙！ |
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