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gebilang

木虫 (小有名气)

[交流] 求教配置SPM,SC1,SC2清洗液的具体配制步骤顺序 已有2人参与

最近有一些硅片、玻璃片需要清洗,以前没洗过,在木虫上搜了些资料,想用标准的清洗液来清洗。不过具体操作上还想请教一下大家,这玩意儿都说比较危险。
1,SPM, H2SO4和H2O2,谁后加?网上有说H2SO4加到H2O2中的,也有说反过来的,感觉应该是H2SO4加到H2O2中吧??
2,SC1——NH4OH:H2O2:H2O,是先H2O,再H2O2,再NH4OH的顺序?
3,SC2——HCL:H2O2:H2O,是先H2O,再H2O2,再HCL的顺序?
感谢虫子们帮忙!
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xushuyin1989

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问楼主解决了吗?我也遇到了和你相同的问题,求帮助
3楼2018-10-23 22:22:37
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