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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400

[求助] 离子注入问题

请问SOI wafer 50nm Si 做离子注入 source 和drain 应该选取怎么的参数，计量和能量
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1楼 2011-08-04 23:58:36
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dugu

木虫 (小有名气)
这个需工程师来测定吧，即使是同一型号的机器，最佳工作参数也不同，使用期都需做实验摸条件~
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书生老去机会方来
2楼2011-08-05 10:07:52
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