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quanten金虫 (著名写手)
QQ群(NW-FET): 157220400
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[求助]
离子注入问题
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| 请问SOI wafer 50nm Si 做离子注入 source 和drain 应该选取怎么的参数，计量和能量 |
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2楼2011-08-05 10:07:52
