10楼: Originally posted by hlwang10s at 2011-09-26 22:17:41:
这样做甩膜之后会不会边缘部分不均匀呀？

6楼: Originally posted by asce3333 at 2011-09-20 21:42:27
其实可以在甩膜前在基底的一个角沾一点点“白雪修正液”，然后等白雪修正液里的organic 挥发后再甩膜，热处理～～anneal后的白雪其实就是ceramic powder,用刀片或者棉塞轻轻一拨就掉了，这种制作mask的方法应该是最 ...

4楼: Originally posted by asce3333 at 2011-09-20 10:21:56
这样测试很难计算出真实值，可以选择两个距离较远的顶电极，这样子由于测试距离远远大于薄膜厚度，所以整个结构可以理解成2片膜串联在一起，通过capacitance 计算permittivity时可以把thickness 近似等于2倍的膜厚来 ...

10楼: Originally posted by hlwang10s at 2011-09-26 22:17:41
这样做甩膜之后会不会边缘部分不均匀呀？...

4楼: Originally posted by asce3333 at 2011-09-20 10:21:56
这样测试很难计算出真实值，可以选择两个距离较远的顶电极，这样子由于测试距离远远大于薄膜厚度，所以整个结构可以理解成2片膜串联在一起，通过capacitance 计算permittivity时可以把thickness 近似等于2倍的膜厚来 ...