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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助大师：薄膜接两个上电极测量，怎么计算介电常数等
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asce3333

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by hlwang10s at 2011-09-26 22:17:41:
这样做甩膜之后会不会边缘部分不均匀呀？

边缘会不均匀，但是并不影响中心大面积部分的膜，如果不是为了做器件，只是为了测试膜的性能，边缘不均匀并不影响你的测试
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11楼2011-10-01 01:21:08
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Tommy8726

银虫 (小有名气)
用腐蚀法作出底电极，再溅射一下上电极么
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12楼2011-10-11 21:37:46
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WHU畅

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by asce3333 at 2011-09-20 21:42:27
其实可以在甩膜前在基底的一个角沾一点点“白雪修正液”，然后等白雪修正液里的organic 挥发后再甩膜，热处理～～anneal后的白雪其实就是ceramic powder,用刀片或者棉塞轻轻一拨就掉了，这种制作mask的方法应该是最 ...

请问一下这个方法是之前在基地镀上底电极了之后，再用“白雪”相当与做一个引脚区，方便之后面电容的测量，是这个意思么？谢谢啦
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13楼2013-10-26 14:35:50
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MMC11

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by asce3333 at 2011-09-20 10:21:56
这样测试很难计算出真实值，可以选择两个距离较远的顶电极，这样子由于测试距离远远大于薄膜厚度，所以整个结构可以理解成2片膜串联在一起，通过capacitance 计算permittivity时可以把thickness 近似等于2倍的膜厚来 ...

你测试薄膜电容用的哪种方法，为什么我测试时电容随频率变化很大。
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14楼2014-03-31 10:13:28
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MMC11

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by hlwang10s at 2011-09-26 22:17:41
这样做甩膜之后会不会边缘部分不均匀呀？...

你测试薄膜电容用的哪种方法，为什么我测试时电容随频率变化很大。
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15楼2014-03-31 10:14:23
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在天涯

铁杆木虫 (知名作家)
修正液的成分钛白粉+甲醛，高温烧结还会导电？不建议用修改液
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16楼2014-10-29 15:53:29
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wang_zz

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by asce3333 at 2011-09-20 10:21:56
这样测试很难计算出真实值，可以选择两个距离较远的顶电极，这样子由于测试距离远远大于薄膜厚度，所以整个结构可以理解成2片膜串联在一起，通过capacitance 计算permittivity时可以把thickness 近似等于2倍的膜厚来 ...

您好，我现在也在做旋涂出来的薄膜的电性能测试，但是镀上电极后，引线加电压时候总是直接就穿了。我做的是有机薄膜，厚度也很薄，不知道能否请您指导一下？
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17楼2020-11-04 20:45:38
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