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lj5882006

金虫 (小有名气)

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[求助] 求助大师：薄膜接两个上电极测量，怎么计算介电常数等

由于sol-gel法制备了BST薄膜的底电极腐蚀不出来，采用接连两个上电极测出了介频曲线，但是怎么计算真实值呢？谢谢各位大师的不吝赐教！~

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1楼 2011-07-20 18:54:14

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MMC11

铁虫 (小有名气)

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4楼: Originally posted by asce3333 at 2011-09-20 10:21:56
这样测试很难计算出真实值，可以选择两个距离较远的顶电极，这样子由于测试距离远远大于薄膜厚度，所以整个结构可以理解成2片膜串联在一起，通过capacitance 计算permittivity时可以把thickness 近似等于2倍的膜厚来 ...

你测试薄膜电容用的哪种方法，为什么我测试时电容随频率变化很大。

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14楼2014-03-31 10:13:28

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MMC11

铁虫 (小有名气)

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10楼: Originally posted by hlwang10s at 2011-09-26 22:17:41
这样做甩膜之后会不会边缘部分不均匀呀？...

你测试薄膜电容用的哪种方法，为什么我测试时电容随频率变化很大。

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15楼2014-03-31 10:14:23

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