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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助大师：薄膜接两个上电极测量，怎么计算介电常数等
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lj5882006

金虫 (小有名气)

[求助] 求助大师：薄膜接两个上电极测量，怎么计算介电常数等

由于sol-gel法制备了BST薄膜的底电极腐蚀不出来，采用接连两个上电极测出了介频曲线，但是怎么计算真实值呢？谢谢各位大师的不吝赐教！~
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1楼 2011-07-20 18:54:14
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asce3333

新虫 (初入文坛)
这样测试很难计算出真实值，可以选择两个距离较远的顶电极，这样子由于测试距离远远大于薄膜厚度，所以整个结构可以理解成2片膜串联在一起，通过capacitance 计算permittivity时可以把thickness 近似等于2倍的膜厚来计算，不过这样计算出来的值也只是估值，建议还是在镀膜前就做上mask，有底电极的测量才更准确
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4楼2011-09-20 10:21:56
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guody

铁杆木虫 (正式写手)
貌似不是两个上点电极吧
应该是类似叉指电极之类的结构吧
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求木之长者，必固其根本；欲流之远者，必浚其泉源；思国之安者，必积其德义。
2楼2011-07-20 19:41:47
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lj5882006

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by guody at 2011-07-20 19:41:47:
貌似不是两个上点电极吧
应该是类似叉指电极之类的结构吧

如图，本因该接上面金电极和下面Pt电极的，现在接的是上面两个金电极。
那个叉指电极又怎么计算电容呢？
                                                                   谢谢您哈！
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3楼2011-07-20 21:15:09
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lj5882006

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by asce3333 at 2011-09-20 10:21:56:
这样测试很难计算出真实值，可以选择两个距离较远的顶电极，这样子由于测试距离远远大于薄膜厚度，所以整个结构可以理解成2片膜串联在一起，通过capacitance 计算permittivity时可以把thickness 近似等于2倍的膜厚 ...

谢谢哈，您说的很有道理哈！现在的问题是用溶胶凝胶法甩膜，mask很不好做的。
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5楼2011-09-20 16:03:13
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