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llqfree

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 203.7
帖子: 14
在线: 7.7小时
虫号: 776354

[交流] 求射频磁控溅射镀铝膜参数

本人使用射频磁控溅射镀铝膜，第一次尝试功率300w，工作气压0.6Pa，氩气氛围中溅射，所得铝膜为黑色。后来降低功率到150W，就什么也镀不上去了。有人镀过铝的吗？请教

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1楼 2011-06-19 20:09:23

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

应助: 11 (小学生)
金币: 807.6
帖子: 113
在线: 93.3小时
虫号: 65069

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhaohaixing(金币+1): 鼓励新虫多做回答~多多参与~~~ 2011-06-21 13:33:14
lpszk(金币+1): 请最好用中文 2011-06-21 15:41:17
llqfree(金币+1): 2011-07-18 12:47:52

I suggest you to increase the power and min the pressure. The base pressure should be lower.
The Al changed color the most probability is the oxidation by the oxygen.