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求射频磁控溅射镀铝膜参数
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| 本人使用射频磁控溅射镀铝膜，第一次尝试功率300w，工作气压0.6Pa，氩气氛围中溅射，所得铝膜为黑色。后来降低功率到150W，就什么也镀不上去了。有人镀过铝的吗？请教 |
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2楼2011-06-20 18:38:03
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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhaohaixing(金币+1): 鼓励新虫多做回答~多多参与~~~ 2011-06-21 13:33:14
lpszk(金币+1): 请最好用中文 2011-06-21 15:41:17
llqfree(金币+1): 2011-07-18 12:47:52
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhaohaixing(金币+1): 鼓励新虫多做回答~多多参与~~~ 2011-06-21 13:33:14
lpszk(金币+1): 请最好用中文 2011-06-21 15:41:17
llqfree(金币+1): 2011-07-18 12:47:52
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I suggest you to increase the power and min the pressure. The base pressure should be lower. The Al changed color the most probability is the oxidation by the oxygen. |
3楼2011-06-21 10:19:28