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llqfree

新虫 (初入文坛)

[交流] 求射频磁控溅射镀铝膜参数

本人使用射频磁控溅射镀铝膜，第一次尝试功率300w，工作气压0.6Pa，氩气氛围中溅射，所得铝膜为黑色。后来降低功率到150W，就什么也镀不上去了。有人镀过铝的吗？请教
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1楼 2011-06-19 20:09:23
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sahaiqiqi

金虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhaohaixing(金币+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-21 07:39:04
llqfree(金币+1): 2011-07-18 12:48:02
这个好像就不可以了
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2楼2011-06-20 18:38:03
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dearhanzi

金虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhaohaixing(金币+1): 鼓励新虫多做回答~多多参与~~~ 2011-06-21 13:33:14
lpszk(金币+1): 请最好用中文 2011-06-21 15:41:17
llqfree(金币+1): 2011-07-18 12:47:52
I suggest you to increase the power and min the pressure. The base pressure should be lower.
The Al changed color the most probability is the oxidation by the oxygen.
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3楼2011-06-21 10:19:28
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