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求蓝宝石衬底单晶半峰宽及位错密度的测试方法及计算公式
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求蓝宝石衬底单晶半峰宽及位错密度的测试方法及计算公式 1.通过XRD测试双晶摇摆曲线得到蓝宝石衬底的半峰宽，是否为评价蓝宝石衬底的（FWHM）？如果是具体评价标准是什么呢？ 2.蓝宝石衬底单晶的位错密度如何检测？位错密度是否影响其半峰宽？ 3.蓝宝石衬底表面损伤层如何测定？与半峰宽是否存在关系？ |
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