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请教纳米的结构密度表征的问题
我在在单晶硅上制备了非晶硅结构，其尺寸为15nm x 15nm x 5nm（长x宽x高），现打算采用相关设备测量其密度。
请问什么样设备或方法可以直接测密度呢？
有人说可以用微区拉曼，从所测晶格常数的微小变化，可以推知凸起结构的疏松程度；但是拉曼的检测深度在微米量级，如何避开基底的影响呢？
谢谢！ |
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